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Alcatel Vacuum Technology は |
Alcatel Vacuum Technology はヘリウム、希釈水素ガスをトレーサーガスとして使用する様々な リークディテクタ をお客様のご要望にあわせてご提案します。 |
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ADKシリーズ概要: Adixen から、太陽電池、半導体、FPD製造装置向けドライポンプの新シリーズ、ADKをお届けします。ADKシリーズポンプはロードロックからプロセスチャンバーの排気までさまざまなアプリケーションに対応できます。ロードロック用のADKLポンプはタクトタイム短縮と消費電力低減を目的に設計され、ハーシュプロセス向けADKHは高い信頼性、消費電力低減を目的に設計されています。本製品について:Alcatel...
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ミディアムプロセス向けA3Pシリーズ : 従来のタイプに比べ最大50%の省エネ効果をもたらすA3Pシリーズには、低ランニングコストのメリットがあります。A3Pシリーズドライポンプは多段ルーツデザインを基礎に設計され、小型ボディでありながら幅広い排気速度100〜1000m3/h、高い信頼性を備えています。消費電力1〜1.5kW、低ノイズ、Semi...
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